產(chǎn)品與技術(shù)
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發(fā)展歷程
DEVELOPMENT HISTORY
2021 年前
半導體設(shè)備市場調(diào)研
完成第三代半導體芯片制程設(shè)備研發(fā)及驗證
完成陶瓷基板釬焊設(shè)備研發(fā)并量產(chǎn)
拉普拉斯集團全資子公司——拉普拉斯（廣州）半導體科技有限公司成立
碳化硅高溫激活，高溫氧化設(shè)備量產(chǎn)
8英寸硅基半導體設(shè)備研發(fā)（立式氧化爐、退火爐、LPCVD爐）
2021 年
2022 年
8英寸硅基半導體設(shè)備完成驗證
完成陶瓷基板燒結(jié)設(shè)備研發(fā)并量產(chǎn)
8英寸硅基半導體設(shè)備量產(chǎn)
12英寸硅基半導體設(shè)備研發(fā)/驗證
2023 年
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